日本東芝技術(shù)研究所使用微細(xì)電火花技術(shù)(EDM ) 制造出了模數(shù)為0104 mm、減速比為44.2 的微型減速機(jī)[ 1 ];1998 年，上海交通大學(xué)用EDM 技術(shù)研制出了模數(shù)為0.06mm、減速比為44.2 的微行星齒輪減速器[ 2 ]。使用同步輻射光和X 射線掩模板的L IGA 技術(shù)能夠制造大深寬比的三維微結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)側(cè)壁陡峭，表面平整[ 3 ]。利用LIGA 技術(shù)的特點(diǎn)，我們又研制出模數(shù)為0.3 mm、最大外徑為2 mm 的3K- 2 型微行星齒輪減速器。微型減速機(jī)可以降低微馬達(dá)的轉(zhuǎn)速，提高微馬達(dá)的輸出力矩，是微機(jī)電系統(tǒng)的重要組成部件。